※ 超音波主軸系統：主軸最高轉速（直結式）#30:20,000rpm

※ 主軸設計：大直徑主軸，采用前2後2大跨距排列，P4級精密斜角滾珠軸承，使主軸更適合承受軸向及徑向負荷。主軸內部特殊設計，搭配專用刀柄，實現超音波加工之性能

※ 加工材料：這合加工各種脆硬材料，不受材料是否導電的限制。可以加工玻璃、陶瓷、寶石、石英、者、矽、石墨、金剛石等分金屬材料。又可以加工淬火鋼、硬質合金、不銹鋼、鐵合

※ 金及耐熱導電金屬材料※ 高精度滾珠導螺桿及線軌：三軸均采用JIS C3級高精度滾珠螺桿(Φ32/Φ25)，使用高精度雷射量測儀進行螺桿背隙捕正及節距補償，以確保運動精度；三軸導軌均采線軌型式,速度快,定位精度高。 

※ FUS-2015

※ 主軸轉速：#30直結式：20,000rpm

※ 快速速度（X/Y/Z）：30/30/30m/min（F）

※ 定位精度：VDI3441 P：0.006mm

※ 重复定位精度：VDI3441 Ps：0.004mm